UI-S SERIES
2線掃感測器輔助式AF(自動對焦)顯微鏡系統
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規格
型號 | UI-S |
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AF部 | Unit-Simple |
區動部 | ZA-S |
控制部 | Autofocus Unit 介面:USB/EXT.I/O AC100V〜200V 1A 含調整用軟體 |
照明部 | 另售 |
對應顯微鏡(物鏡) | Nikon CFI系列 Mitutoyo M Plan Apo系列 |
對應觀察法 | 明視野 |
對應照明法 | 落射照明 |
對應倍率 | 1x(依待測物條件)~100x(依使用環境) |
搜尋速度 | 0.3秒 (物鏡20x, 搜尋範圍±250μm) |
追蹤速度 | 555μm/sec (物鏡20x為極限) |
待測物 | 玻璃 (LCD, PDP), 塑膠 (微透鏡, C-MOS), 薄膜材 (LCD用薄膜), 金屬, 纸類, 液體 (部分不適用) |
作動原理
專用於自動對焦應用的條紋圖案被投影到目標樣本上. 反射的條紋圖案和目標樣本圖像被同時傳送到光電感測器,中途通過分束器,形成具有差分光路長度的兩個發散光束,並且分別傳送到兩個單獨的線形傳感器. 通過比較兩個線傳感器之間的光電通信號,可以以高追踪性準確且快速地調整焦點偏移.