UI-S 系列
2线扫感测器辅助式AF(自动对焦)显微镜系统
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规格
型号 | UI-S |
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AF部 | Unit-Simple |
区动部 | ZA-S |
控制部 | Autofocus Unit 介面:USB/EXT.I/O AC100V〜200V 1A 含调整用软体 |
照明部 | 另售 |
对应显微镜(物镜) | Nikon CFI系列 Mitutoyo M Plan Apo系列 |
对应观察法 | 明视野 |
对应照明法 | 落射照明 |
对应倍率 | 1x(依待测物条件)~100x(依使用环境) |
搜寻速度 | 0.3秒 (物镜20x, 搜寻范围±250μm) |
追踪速度 | 555μm/sec (物镜20x为极限) |
待测物 | 玻璃 (LCD, PDP), 塑胶 (微透镜, C-MOS), 薄膜材 (LCD用薄膜), 金属, 纸类, 液体 (部分不适用) |
作动原理
专用于自动对焦应用的条纹图案被投影到目标样本上. 反射的条纹图案和目标样本图像被同时传送到光电感测器, 中途通过分束器, 形成具有差分光路长度的两个发散光束, 并且分别传送到两个单独的线形传感器. 通过比较两个线传感器之间的光电通信号, 可以以高追踪性准确且快速地调整焦点偏移.